如圖5所示，C-V測(cè)量系統(tǒng)可能會(huì)相當(dāng)復(fù)雜，因?yàn)榕渲弥邪y(cè)量?jī)x器和軟件、信號(hào)路徑線藍(lán)、測(cè)試夾具和器件。為進(jìn)行最優(yōu)測(cè)量，必需相應(yīng)設(shè)置CVU的測(cè)試設(shè)置和定時(shí)參數(shù)。必須使用適當(dāng)?shù)木€纜、探頭和測(cè)試夾具，然后必須執(zhí)行連接補(bǔ)償。最后，器件本身可能會(huì)導(dǎo)致測(cè)量問題。下面幾節(jié)將討論進(jìn)行良好的電容測(cè)量需要考慮的硬件和軟件。

圖5. C-V測(cè)量系統(tǒng)

線纜和連接

本節(jié)介紹了怎樣使用適當(dāng)?shù)木€纜和連接，怎樣保護(hù)卡盤和器件端子，以及怎樣配置AC電流表端子。

適當(dāng)?shù)木€纜

為獲得最好的測(cè)量結(jié)果，應(yīng)只使用隨機(jī)自帶的紅色SMA電纜連接到CVU。隨機(jī)自帶的附件如下：

●  4條CA-447A SMA到SMA 1.5米電纜(紅色）

●  4條CS-1247 SMA到BNC轉(zhuǎn)接頭

●  2條CS-701A BNC T形裝置

●  1個(gè)扭矩扳手，用來緊固SMA電纜連接

圖6. 2線傳感的CVU連接圖

隨機(jī)自帶的附件可以通過BNC或SMA連接，來連接測(cè)試夾具或探頭。圖6顯示了CVU以及為2線傳感配置的隨機(jī)自帶的附件。CS-1247 SMA到BNC轉(zhuǎn)接頭連接到每條CA-447A SMA到SMA電纜。HCUR和HPOT端子通過CS-701A BNC T形裝置連接，構(gòu)成CVH；LCUR和LPOT連接在一起，構(gòu)成CVL。使用隨機(jī)自帶的扭矩扳手，緊固SMA電纜連接，確保接觸良好。紅色SMA電纜為100Ω。并聯(lián)的兩條100Ω電纜是50Ω，這是高頻源測(cè)量應(yīng)用的標(biāo)準(zhǔn)配置。

圖7. 從CVU正確連接到DUT

圖7是DUT 4線傳感實(shí)例。在本例中，HCUR和HPOT端子連接到器件的一端，LPOT和LCUR端子連接到器件的另一端。為了改善帶寬，我們把同軸電纜的外部屏蔽層連接到金屬測(cè)試夾具上。我們使用到器件的4線連接，通過盡可能靠近器件傳感電壓，來簡(jiǎn)化靈敏的測(cè)量。

四條同軸電纜每條電纜的外部屏蔽層必須盡可能近地連接到器件上，以使屏蔽層的環(huán)路面積達(dá)到最小。同軸電纜的外部屏蔽層還應(yīng)連接到金屬測(cè)試夾具上，以降低來自外部源的噪聲和耦合。這降低了電感，有助于降低諧振效應(yīng)，這種效應(yīng)在1MHz以上的頻率時(shí)可能會(huì)帶來負(fù)擔(dān)。

圖8. 連接兩個(gè)控制裝置公共部分的接地跳線

圖8是連接兩個(gè)探頭電纜組件公共部分的跳線。吉時(shí)利儀器公司擁有一系列4210-MMPC多測(cè)量電纜套件，適用于各種探頭，可以實(shí)現(xiàn)各種控制裝置的常用連接。