什么是3D傳感的TOF技術(shù)？
TOF傳感器測量光在某介質(zhì)中行進一段距離所需的時間。通常，這是對脈沖發(fā)射光到達物體并反射回到TOF傳感器所用時間的測量。TOF攝像頭則利用TOF測量原理（TOF圖像傳感器）來確定攝像頭與物體或周圍環(huán)境之間距離，并通過測量的點生成深度圖像或3D圖像。
什么是無源VCSEL陣列？
無源VCSEL陣列，指本身不帶驅(qū)動器電路的VCSEL陣列器件。當VCSEL陣列用于TOF技術(shù)的3D傳感時，傳感系統(tǒng)發(fā)出的光脈沖的上升下降時間特性非常重要，特別是dTOF，TR/TF直接影響了最終產(chǎn)品的性能。
對無源VCSEL陣列，其本身的瞬態(tài)響應(yīng)通常非常優(yōu)異，可達百ps甚至十ps量級，但由于其采用大電流驅(qū)動，要測出其真實TR/TF十分困難，這取決于用于測試的驅(qū)動器能力和測試系統(tǒng)能力，還和驅(qū)動器電路的設(shè)計選擇、驅(qū)動器與被測件之間的鏈路長度、工作點和匹配調(diào)節(jié)等有關(guān)。
目前常見的TR/TF測試主要在研發(fā)和有限數(shù)量的單顆器件驗證中，主要使用的測試方法是將器件焊接在定制的（或最終使用的）驅(qū)動器電路板上，配合高速PD和高帶寬示波器完成。由于使用焊接式的連接方式，這個測試是破壞性的，即被測件后續(xù)無法使用在產(chǎn)品中；且焊接和取下被測件耗時費力，通常測試樣本不多。
另一方面，使用外部驅(qū)動板的TR/TF測試，其本質(zhì)上測試的結(jié)果是“驅(qū)動板+VCSEL陣列”的TR/TF，而非“VCSEL陣列的TR/TF”，所以這種測試是一種評價性測試，體現(xiàn)的可能并不全是VCSEL陣列的真實性能（除非驅(qū)動器能力遠高于被測VCSEL陣列能力）。
基于目前無源VCSEL陣列的TR/TF評價性測試的現(xiàn)狀，綜合考慮測試的通用性、便捷性和可重復(fù)性，泰克合作伙伴柯泰測試研制了基于通用驅(qū)動器和通用儀器的測試系統(tǒng)。
使用該測試系統(tǒng)的主要目標場景包括：
- 3D傳感模組研發(fā)
- 陣列模組封裝測試
- 3D傳感系統(tǒng)廠商來料檢測和故障分析
- VCSEL芯片性能評估
測試系統(tǒng)概要
1、測試系統(tǒng)組成部分主要包括：
· 通用窄脈沖驅(qū)動器
· 控制驅(qū)動器工作條件的多通道電源
· 通用脈沖信號源
· 高速光探測器
· 寬帶示波器
· 自動測試軟件
· 可替換測試治具
· 其它測試附件，如光衰減片、遮光箱體、高頻電纜等
2、測試系統(tǒng)的主要特點有：
· 使用定制的測試治具，實現(xiàn)非破壞性的快速測試
· 通過調(diào)節(jié)驅(qū)動板工作條件，適應(yīng)不同的被測件
· 使用通用測試儀器，測試條件可控性和重復(fù)性優(yōu)于傳統(tǒng)定制系統(tǒng)。系統(tǒng)中的儀器亦可在其它測試中使用，通用性好
· 小型集成測試臺，提高系統(tǒng)搭建效率
· 一鍵式自動化測試軟件，自動掃描工作點，提高工作效率
· 可根據(jù)需要替換測試系統(tǒng)組件，從而實現(xiàn)更高的測試要求
系統(tǒng)配置和指標
1、系統(tǒng)配置：
該系統(tǒng)的典型配置（KAS-NPT1500貨架型號）包括：
帶寬不小于1.5GHz的四通道示波器
帶寬不小于1.4GHz的高速空間光探測器
頻率范圍不小于240MHz的任意函數(shù)發(fā)生器（AFG）
三通道可編程直流電源
CTA-NPD12窄脈沖驅(qū)動板
CTA-LTC1激光器測試臺
根據(jù)被測件定制的治具
自動測試軟件KTS-TRTF-A01
2、TR/TF指標：
在典型配置下，測試系統(tǒng)可實現(xiàn)TR/TF的典型指標參數(shù)如下表：
（注1：基于有限樣品實測結(jié)果，測試使用通用治具。實際使用中可能有更好的性能。另：本系統(tǒng)支持焊接方式，焊接時亦可能得到更好性能）
（注2：其它主要指標，如工作電流、電壓等，將會在后續(xù)“窄脈沖LIV測試系統(tǒng)指標書”中給出）
3、測試臺：
CTA-LTC1激光器測試臺適用于實驗室環(huán)境，提供了驅(qū)動器固定、PD定位、濾光片切換、遮光、電纜連接等多種結(jié)構(gòu)，能快速實現(xiàn)實驗環(huán)境搭建。其外觀尺寸為330mm x 330mm x 600mm（不含支撐腳）。
CTA-LTC1測試臺
自動測試軟件KTS-TRTF-A01
無源VCSEL陣列的TR/TF評價性測試系統(tǒng)中，驅(qū)動器的工作條件對TR/TF測試的結(jié)果影響顯著。同時，同一個驅(qū)動器配合不同被測件工作時，其最佳工作點也會變化。
本測試系統(tǒng)中提供的通用驅(qū)動板需要通過細致調(diào)諧方可和被測件配合得到最佳TR/TF結(jié)果。柯泰測試提供了KTS-TRTF-A01自動測試軟件可完成這個細膩而繁瑣的工作?；趯y試儀器的專業(yè)理解和測試方法的深入分析，我們選擇最佳的儀表組合，并輔以細致的觸發(fā)方式、采樣方式和測量參數(shù)設(shè)置，讓用戶僅需提供工作點相關(guān)掃描范圍，軟件即可將最佳工作點推薦值以列表方式呈現(xiàn)。隨后，用戶僅需雙擊推薦列表的設(shè)置，即可完成相應(yīng)測試設(shè)置選擇。
自動測試軟件示例
目前，本軟件支持的儀器列表如下：
