編者按：中國電科產(chǎn)業(yè)發(fā)展充分發(fā)揮電子信息科技創(chuàng)新體系優(yōu)勢，以解決產(chǎn)業(yè)鏈關鍵環(huán)節(jié)問題為己任，以打造供應鏈核心環(huán)節(jié)自主化為抓手，推動產(chǎn)業(yè)基礎高級化、助力產(chǎn)業(yè)鏈現(xiàn)代化，在“電子裝備、網(wǎng)信體系、產(chǎn)業(yè)基礎、網(wǎng)絡安全”四大板塊誕生了一系列產(chǎn)業(yè)單項冠軍產(chǎn)品。為打造高質(zhì)量產(chǎn)品，推動民品產(chǎn)業(yè)做強做優(yōu)做大，現(xiàn)對2021年“四大板塊”的民品產(chǎn)業(yè)單項冠軍產(chǎn)品進行報道。
中國電科聚焦產(chǎn)業(yè)鏈創(chuàng)新鏈關鍵環(huán)節(jié)，推進產(chǎn)業(yè)基礎、網(wǎng)絡安全布局發(fā)展，在材料、器件、裝備、儀器、基礎軟件等領域形成一系列單項冠軍產(chǎn)品。
中國電科處于國內(nèi)半導體材料行業(yè)發(fā)展最前端，經(jīng)多年布局發(fā)展，培育了一批以200mm硅外延片、通信用旋磁材料為代表的“真材實料”。
硅外延片是芯片制造主要原材料。電科材料掌握8英寸（200mm）及以下外延生長技術，其中200mm 硅外延片為核心產(chǎn)品，主要應用于高端功率器件和模擬集成電路芯片領域，外延層厚度均勻性、電阻率均勻性、平整度及顆粒度等核心關鍵指標均為國內(nèi)第一，部分指標接近或達到國際水平。目前，4-8英寸（100mm-200mm）分立器件用硅外延片國內(nèi)市場占有率超過50%。
旋磁材料是信號傳輸設備中核心器件隔離器、環(huán)行器的關鍵材料，廣泛應用于通信基站及無線信號傳輸設備。電科9所在國內(nèi)率先實現(xiàn)5G基站用旋磁基片的批量供應，材料性能達到國際先進水平。目前國內(nèi)建設的約百萬站5G基站中，有近半是采用9所生產(chǎn)的旋磁材料?！?G用旋磁材料”曾獲第21屆中國國際工業(yè)博覽會金獎。
核心器件發(fā)展備受國家重視。中國電科瞄準國家所需，研制了一批以5G射頻聲學濾波器為代表的“器件健將”。
聲學濾波器（包括聲表面波-SAW、體聲波-BAW）是5G通信的基礎元器件，作為射頻前端核心元器件，主要應用于以5G通訊為代表的移動通訊基站及智能終端中。目前產(chǎn)品國內(nèi)市場占有率達10%，占據(jù)國產(chǎn)化器件份額60%以上，服務于行業(yè)主流客戶。國基南方（德清華瑩公司）、聲光電公司是國內(nèi)終端用濾波器主要供應商，擁有與世界先進水平相當?shù)穆晫W濾波器晶體材料生長技術、芯片制造技術及先進封裝測試技術，構建了行業(yè)領先的全產(chǎn)業(yè)鏈微聲技術體系，產(chǎn)品遠銷北美、歐洲、東南亞。
中國電科在半導體裝備眾多領域?qū)崿F(xiàn)突破，涌現(xiàn)了一批以200mm CMP、中束流離子注入機、等離子體增強氣相化學沉積設備為代表的“裝備精品”。
化學機械拋光設備（CMP）是集成電路核心裝備之一。電科裝備致力于CMP設備研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，產(chǎn)業(yè)化機型200mm CMP設備可滿足所有8英寸芯片制造過程中的復雜CMP工藝，通過了SEMI S和SEMI F47 認證，性能指標不低于和部分優(yōu)于國際同類產(chǎn)品；300mmCMP設備進入產(chǎn)線驗證以來，相關技術參數(shù)及工藝效果比肩國際一流設備，提前進入量產(chǎn)階段。目前，200mm CMP設備國內(nèi)市場占有率達到70%，成為知名集成電路制造企業(yè)唯一置換率100%的國產(chǎn)設備。
離子注入機是另一種集成電路核心裝備。電科裝備研發(fā)的中束流離子注入機產(chǎn)品已連續(xù)突破高性能離子源、高速晶圓傳輸?shù)汝P鍵核心技術，產(chǎn)品服務于國內(nèi)領先芯片制造廠商，廣泛分布于國內(nèi)多個先進產(chǎn)線，國內(nèi)市場占有率約8%。目前，電科裝備離子注入機工藝段覆蓋至28nm，實現(xiàn)了我國芯片制造領域全譜系離子注入機自主創(chuàng)新發(fā)展，可為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機一站式解決方案。
等離子體增強化學氣相淀積設備（PECVD）是太陽能電池片制造的核心工藝裝備，并可拓展至半導體行業(yè)，具有廣闊的市場前景。電科裝備PECVD設備在產(chǎn)能和工藝均勻性等關鍵指標均處于國內(nèi)領先水平，具有規(guī)格齊全、產(chǎn)能大、均勻性好、設備自動化程度高、穩(wěn)定性高等優(yōu)勢，可滿足不同客戶的定制化需求，主要客戶均為行業(yè)龍頭企業(yè)，市場占有率逐步提高。其中，正面鍍膜用PECVD設備2020年居行業(yè)第一位。
