研究目標：針對環(huán)境監(jiān)測、食品安全和臨床診斷等行業(yè)小分子標志物高準確高靈敏定量檢測需求，突破高效率高穩(wěn)定離子化、離子傳輸和多級串聯(lián)質(zhì)量分析等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件全部國產(chǎn)化的四極桿—離子阱液相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀，開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫。實現(xiàn)復雜基質(zhì)樣品中目標物質(zhì)的準確定量分析。開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣。

考核指標：質(zhì)量范圍優(yōu)于20Th-2000Th；質(zhì)量分辨率于3000；掃描速度≥20000amu/sec；串聯(lián)分析級數(shù)（MSn）≥3；三級質(zhì)譜檢測信噪比≥500:1（50fg 利血平樣品），檢測限≤5fg；峰面積重復性≤3%（1pg 利血平連續(xù)進樣10 次）；液相色譜最大流速≥2mL/min。產(chǎn)品完成時應(yīng)通過可靠性測試，平均故障間隔時間≥3000 小時，技術(shù)就緒度達到8 級。明確發(fā)明專利、標準和軟件著作權(quán)等知識產(chǎn)權(quán)數(shù)量；形成批量生產(chǎn)能力，明確項目驗收時銷售數(shù)量和銷售額。

1.3 低溫強磁場綜合物性測量儀

研究目標：針對物理、化學、材料科學等領(lǐng)域?qū)ξ⒓{器件和新材料電學、磁學、熱學等物性測量的需求，突破免液氦低溫恒溫控制、高穩(wěn)定度超導強磁場、全自動多物性測量系統(tǒng)集成等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件全部國產(chǎn)化的低溫強磁場綜合物性測量儀，開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫，實現(xiàn)對微納器件和材料電學、熱學、磁學物性的綜合測量分析。開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣。

考核指標：溫度控制系統(tǒng)：1.9K~400K 范圍連續(xù)控溫，溫度穩(wěn)定性≤0.2%（T≤10K）、0.02%（T>10K）；磁場控制系統(tǒng)：磁場強度范圍±14T，磁場中心處5cm 范圍內(nèi)均勻度達到0.1%；電物性測量：直流電阻測量范圍1×10-8Ω~5×109Ω，測量精度0.1%（R≤200kΩ）、0.2%（R>200kΩ）；熱物性測量：比熱測量靈敏度≤10nJ/K@2K，熱電系數(shù)測量精度優(yōu)于5%，熱導率測量精度優(yōu)于5%；磁物性測量：直流磁化強度測量靈敏度≤2×10-5emu，交流磁化率測量靈敏度<2×10-8emu@10kHz。項目完成時產(chǎn)品應(yīng)通過可靠性測試，平均故障間隔時間≥5000 小時，技術(shù)就緒度達到8 級。明確發(fā)明專利、標準和軟件著作權(quán)等知識產(chǎn)權(quán)數(shù)量；形成批量生產(chǎn)能力，明確項目驗收時銷售數(shù)量和銷售額。

1.4 聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡

研究目標：針對集成電路芯片設(shè)計修正和失效分析、樣品3D重構(gòu)、透射電鏡樣品制備等微納加工技術(shù)需求，突破高分辨率聚焦離子束、高分辨率場發(fā)射電子束獲得等核心技術(shù)，開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、性能穩(wěn)定可靠、核心部件全部國產(chǎn)化的聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡，開發(fā)相關(guān)軟件，開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣。

考核指標： 液態(tài)鎵離子源聚焦離子束掃描分辨率≤5nm@30kV（雙束重合點），能量≥30kV，束流≥65nA；聚焦電子束分辨率≤1.2nm@1kV（雙束重合點），能量≥30kV，束流≥50nA；最大樣品直徑≥150mm，Z 向高度調(diào)節(jié)范圍≥40mm；具備聚焦離子束材料刻蝕、沉積和透射電鏡樣品制備、3D 結(jié)構(gòu)重構(gòu)能力；具備聚焦離子束加工過程中掃描電子束實時觀察能力。項目完成時產(chǎn)品應(yīng)通過可靠性測試，平均故障間隔時間≥500 小時，技術(shù)就緒度達到8 級。明確發(fā)明專利、標準和軟件著作權(quán)等知識產(chǎn)權(quán)數(shù)量；形成批量生產(chǎn)能力，明確項目驗收時銷售數(shù)量和銷售額。

1.5 高性能流式細胞分選儀

研究目標：針對生物和醫(yī)學等行業(yè)血液和細胞分析需求，突破單細胞多色熒光高效分光技術(shù)、百萬量級細胞數(shù)據(jù)處理技術(shù)、微流控細胞分選技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件全部國產(chǎn)化的高性能流式細胞分選儀，開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫，實現(xiàn)對細胞、熒光微球等生物顆粒的分析、計數(shù)與分選。開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣。

考核指標：激光器波長數(shù)≥4；激發(fā)熒光波長數(shù)≥30；熒光檢測靈敏度：FITC≤80MESF，PE≤30MESF；細胞檢測和分析速度≥70000 細胞/秒；分選純度≥98%；顆粒檢測大小0.2μm~50μm。項目完成時產(chǎn)品應(yīng)通過可靠性測試，平均故障間隔時間≥5000 小時，技術(shù)就緒度達到8 級。明確發(fā)明專利、標準和軟件著作權(quán)等知識產(chǎn)權(quán)數(shù)量；形成批量生產(chǎn)能力，明確項目驗收時銷售數(shù)量和銷售額。