近年來，傳感器正處于傳統(tǒng)型向新型傳感器轉(zhuǎn)型的發(fā)展階段。新型傳感器的特點是微型化、數(shù)字化、智能化、多功能化、系統(tǒng)化、網(wǎng)絡化，它不僅促進了傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的改造，而且可導致建立新型工業(yè)，是21世紀新的經(jīng)濟增長點。
      傳感器作為現(xiàn)代科技的前沿技術，傳感器產(chǎn)業(yè)也是國內(nèi)外公認的具有發(fā)展前途的高技術產(chǎn)業(yè)，它以其技術含量高、經(jīng)濟效益好、滲透能力強、市場前景廣等特點為世人矚目。幾十年來，以微電子技術為基礎，促進了傳感器技術的發(fā)展。多學科、多種高新技術的交叉融合，推動了新一代傳感器的誕生與發(fā)展。例如：我國重點開發(fā)的MEMS、MOMES、智能傳感器、生物化學傳感器等以及今后將大力開發(fā)的網(wǎng)絡化傳感器、納米傳感器均是多學科、多種學科技術交叉融合的新一代傳感器。
      微型化是建立在微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術基礎上的，目前已成功應用在硅器件上形成硅壓力傳感器(如上述EJX變送器)。微電子機械加工技術，包括體微機械加工技術、表面微機械加工技術、LIGA技術(X光深層光刻、微電鑄和微復制技術)、激光微加工技術和微型封裝技術等。
      MEMS的發(fā)展，把傳感器的微型化、智能化、多功能化和可靠性水平提高到了新的高度。傳感器的檢測儀表，在微電子技術基礎上，內(nèi)置微處理器，或把微傳感器和微處理器及相關集成電路(運算放大器、A/D或D/A、存貯器、網(wǎng)絡通訊接口電路)等封裝在一起完成了數(shù)字化、智能化、網(wǎng)絡化、系統(tǒng)化。