固態(tài)激光雷達(dá)，是指完全沒有移動件的激光雷達(dá)。但近年來，一些帶有微小移動部件的激光雷達(dá)也被統(tǒng)稱為“固態(tài)激光雷達(dá)”，它們具備了固態(tài)激光雷達(dá)很多的性能特點，如分辨率高、有限水平FOV（前向而不是360°）等，但他們從嚴(yán)格意義上來說不能算純固態(tài)激光雷達(dá)。代表為MEMS激光雷達(dá)。

   MEMS（Micro－Electro－Mechanical System）指代的是將機(jī)械機(jī)構(gòu)進(jìn)行微型化、電子化的設(shè)計，將原本體積較大的機(jī)械結(jié)構(gòu)通過微電子工藝集成在硅基芯片上，進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)。技術(shù)成熟，完全可以量產(chǎn)。主要是通過MEMS微鏡來實現(xiàn)垂直方面的一維掃描，整機(jī)360度水平旋轉(zhuǎn)來完成水平掃描，而其光源是采用光纖激光器，這主要是由于905納米的管子重頻做不高，重頻一高平均功率就會太大，會影響激光管的壽命。

   從嚴(yán)格意義上來說，MEMS并不算是純固態(tài)激光雷達(dá)，這是因為在MEMS方案中并沒有完全消除機(jī)械，而是將機(jī)械微型化了，掃描單元變成了MEMS微鏡。

純固態(tài)激光雷達(dá)主要有OPA方案激光雷達(dá)，F(xiàn)lash激光雷達(dá)。

OPA（optical phased array）方案主要是采用多個光源組成陣列，通過控制各光源發(fā)光相位時間差，合成具有特定方向的主光束。然后再加以控制，主光束便可以實現(xiàn)對不同方向的掃描。雷達(dá)精度可以做到毫米級，且順應(yīng)了未來激光雷達(dá)固態(tài)化、小型化以及低成本化的趨勢。其難點主要在于生產(chǎn)精度高，且需要提高單位時間內(nèi)測量的點云數(shù)據(jù)量。不過，隨著工業(yè)技術(shù)的進(jìn)步，OPA方案的優(yōu)勢會越來越大。

Flash方案激光雷達(dá)的原理是快閃，它不像MEMS或OPA方案掃描物體，而是短時間直接發(fā)射出一大片覆蓋探測區(qū)域的激光，再以高度靈敏的接收器，來完成對環(huán)境周圍圖像的繪制。