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應(yīng)用于MEMS產(chǎn)品的精密電子零部件及制造技術(shù)

一、精密電子零部件概述微機電系統(tǒng)（MEMS）是指尺寸在毫米級甚至微米級的微型電子裝置，主要可分為微型傳感器和微型執(zhí)行器兩個大類。由于MEMS的尺寸較小，用于...

來源 : MEMS | 2020-04-01 14:06

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